Kohlenstofftetrafluorid (CF4), hochreines Gas
Grundlegende Informationen
| CAS | 75-73-0 |
| EC | 200-896-5 |
| UN | 1982 |
Was ist das für ein Material?
Kohlenstofftetrafluorid ist bei normaler Temperatur und normalem Druck ein farb- und geruchloses Gas. Aufgrund der starken Kohlenstoff-Fluor-Bindungen ist es chemisch äußerst inert. Dadurch reagiert es unter normalen Bedingungen nicht mit den meisten gängigen Substanzen. CF4 ist ein starkes Treibhausgas, das zur globalen Erwärmung beiträgt.
Wo kann dieses Material verwendet werden?
1. Halbleiterherstellung: CF4 wird in der Elektronikindustrie häufig für Plasmaätz- und chemische Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD) verwendet. Es hilft beim Präzisionsätzen von Siliziumwafern und anderen Materialien, die in Halbleiterbauelementen verwendet werden. Seine chemische Inertheit ist entscheidend, um unerwünschte Reaktionen während dieser Prozesse zu verhindern.
2. Dielektrisches Gas: CF4 wird als dielektrisches Gas in elektrischen Hochspannungsgeräten und gasisolierten Schaltanlagen (GIS) eingesetzt. Aufgrund seiner hohen Spannungsfestigkeit und hervorragenden elektrischen Isoliereigenschaften ist es für den Einsatz in diesen Anwendungen geeignet.
3. Kühlung: CF4 wurde in einigen Niedertemperaturanwendungen als Kältemittel verwendet, obwohl seine Verwendung aufgrund von Umweltbedenken hinsichtlich seines hohen Treibhauspotenzials zurückgegangen ist.
4. Prüfgas: Es kann als Prüfgas bei Lecksuchprozessen verwendet werden, insbesondere zur Identifizierung von Lecks in Hochvakuumsystemen und Industrieanlagen.
5. Kalibriergas: CF4 wird aufgrund seiner bekannten und stabilen Eigenschaften als Kalibriergas in Gasanalysatoren und Gasdetektoren verwendet.
6. Forschung und Entwicklung: Es wird in der Laborforschung und -entwicklung für verschiedene Zwecke verwendet, darunter Materialwissenschaften, Chemie und physikalische Experimente.
Beachten Sie, dass spezifische Anwendungen und Vorschriften für die Verwendung dieses Materials/Produkts je nach Land, Branche und Zweck variieren können. Befolgen Sie immer die Sicherheitsrichtlinien und konsultieren Sie einen Experten, bevor Sie dieses Material/Produkt in irgendeiner Anwendung verwenden.
