Stickstofftrifluorid (NF3), hochreines Gas
Grundlegende Informationen
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Was ist das für ein Material?
Stickstofftrifluorid (NF3) ist bei Raumtemperatur und Atmosphärendruck ein farb- und geruchloses Gas. Es kann unter mäßigem Druck verflüssigt werden. NF3 ist unter normalen Bedingungen stabil und zersetzt sich nicht leicht. Es kann sich jedoch zersetzen, wenn es hohen Temperaturen oder in Gegenwart bestimmter Katalysatoren ausgesetzt wird. NF3 hat ein hohes Treibhauspotenzial (GWP), wenn es in die Atmosphäre gelangt.
Wo kann dieses Material verwendet werden?
Reinigungsmittel in der Elektronikindustrie: NF3 wird häufig als Reinigungsmittel zum Entfernen von Restverunreinigungen wie Oxiden von den Oberflächen von Halbleitern, Plasmabildschirmen (PDPs) und anderen elektronischen Komponenten verwendet. Es kann diese Oberflächen effektiv reinigen, ohne sie zu beschädigen.
Ätzgas in der Halbleiterfertigung: NF3 wird als Ätzgas im Herstellungsprozess von Halbleitern verwendet. Es ist besonders effektiv beim Ätzen von Siliziumdioxid (SiO2) und Siliziumnitrid (Si3N4), die übliche Materialien sind, die bei der Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet werden.
Herstellung hochreiner Fluorverbindungen: NF3 ist eine wertvolle Fluorquelle für die Herstellung verschiedener fluorhaltiger Verbindungen. Es wird als Vorprodukt bei der Herstellung von Fluorpolymeren, Fluorkohlenwasserstoffen und Spezialchemikalien verwendet.
Plasmaerzeugung bei der Herstellung von Flachbildschirmen: NF3 wird zusammen mit anderen Gasen zur Plasmaerzeugung bei der Herstellung von Flachbildschirmen wie Flüssigkristallanzeigen (LCDs) und PDPs verwendet. Das Plasma ist bei den Abscheidungs- und Ätzprozessen während der Plattenherstellung von wesentlicher Bedeutung.
Beachten Sie, dass spezifische Anwendungen und Vorschriften für die Verwendung dieses Materials/Produkts je nach Land, Branche und Zweck variieren können. Befolgen Sie immer die Sicherheitsrichtlinien und konsultieren Sie einen Experten, bevor Sie dieses Material/Produkt in irgendeiner Anwendung verwenden.
